电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是电子工业生产的基础关键原材料。工业气体产品可分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大、纯度略低；而特种气体则属于高技术、高附加值产品，对产品的质量要求较高。《战略性新兴产业分类（2018）》将电子气体分为了电子特种气体和电子大宗气体。电子特气在晶圆制造过程中占材料成本的14%左右，是仅次于硅片的第二大材料，几乎渗透到集成电路生产的每个环节，对集成电路的性能、集成度和成品率都有重大影响。
从特种气体细分市场来看，电子特气份额占比大，2021年为63%。在中国经济结构正在优化升级的大环境下，政府重点扶持高新技术产业如集成电路、发光二级管等。电子特气为集成电路、显示面板及发光二级管的重要原材料，下游行业的高速发展加大企业对电子特气的需求。在政策利好与需求升级的双轮驱动下，中国电子特气市场呈现高速增长的状态。2017-2021年，中国电子特气市场规模从114亿元增至216亿元，年复合增长率达17.32%。
半导体集成电路为主要细分领域。电子特气的应用方向为集成电路及器件领域、面板领域和太阳能及LED领域。根据2020年中国电子特气的应用市场结构，集成电路及器件领域占比大，为44.2%。而半导体集成电路市场广阔，将带动电子特气在集成电路领域的应用市场规模进一步提升。2021年，中国集成电路产业销售额为10458.3亿元，同比增长18.2%。
章 电子特气行业概述
节、电子特气相关界定
一、电子特气的含义
二、电子特气的分类
三、电子特气的纯度
第二节、电子特气工艺分类
一、化学气相沉积工艺
二、光刻工艺
三、刻蚀工艺
四、掺杂工艺
第三节、电子特气工艺流程
一、气体纯化
二、气体合成
三、空气分离
四、气体充装
五、气体混配
六、气体检测
七、气瓶处理
第二章 2020-2022年全球电子特气行业发展综况
节、2020-2022年全球电子特气发展现状
一、市场发展现状
二、市场发展规模
三、市场份额分布
四、企业竞争格局
五、企业营收情况
六、产业链条布局
七、应用领域分布
八、产品技术分析
第二节、2020-2022年美国电子特气发展分析
一、市场相关政策
二、市场主体介绍
三、企业布局动态
四、市场发展困境
第三节、2020-2022年日本电子特气发展分析
一、市场发展现状
二、市场供求分析
三、市场主体介绍
四、企业营收情况
五、企业布局动态
六、出口管制施行
第四节、全球电子特气企业发展路径及经验借鉴
一、设备制造+气体服务齐头并进
二、通过收购快速开拓国际市场
三、通过技术创新丰富产品结构
第三章 2020-2022年中国电子特气行业发展环境
节、经济环境
一、宏观经济概况
二、工业运行情况
三、固定资产投资
四、宏观经济展望
第二节、政策环境
一、行业主管部门
二、政策发展历程
三、行业相关政策
四、行业支持政策
五、行业标准汇总
六、细分品类标准
七、区域政策动态
八、政策发展规划
第三节、行业环境
一、工业气体基本概述
二、工业气体发展特点
三、工业气体市场规模
四、工业气体区域竞争
五、工业气体竞争梯队
六、工业气体对外贸易
七、工业气体产品布局
八、工业气体发展趋势
第四章 2020-2022年中国电子特气行业运行状况
节、中国电子特气行业产业链分析
一、产业链条分析
二、上游供应情况
三、下游应用结构
四、产业链企业布局
第二节、2020-2022年中国电子特气市场发展状况
一、行业发展历程
二、市场发展地位
三、市场发展态势
四、市场发展规模
五、市场供应模式
六、波特五力模型
第三节、2020-2022年中国电子特气企业竞争情况
一、企业竞争优势
二、企业竞争格局
三、主要企业介绍
四、企业产品布局
五、企业营收情况
六、企业产品应用
七、企业研发投入
八、企业区域布局
第四节、中国电子特气行业技术发展状况分析
一、电子特气行业技术发展需求
二、电子特气行业技术发展意义
三、典型电子特气企业研发成果
四、高纯含氟电子气体国产化成功
五、高纯氮气“卡脖子”技术取得突破
第五节、中国电子特气行业发展问题及建议
一、行业起步较晚
二、行业竞争加剧
三、国际贸易摩擦
四、气体供应紧缺
五、行业发展建议
第五章 2020-2022年中国电子特气细分市场发展分析
节、清洗、蚀刻工艺特气
一、三氟化氮（NF3）
二、四氟化碳（CF4）
三、六氟化硫（SF6）
四、六氟乙烷（C2F6）
五、八氟丙烷（C3F8）
六、八氟环丁烷（C4F8）
第二节、氧化/沉积工艺特气
一、六氟化钨（WF6）
二、氧化亚氮（N2O）
三、氨气（NH3）
四、硅烷（SiH4）
五、锗烷（GeH4）
第三节、氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气
一、磷烷（PH3）
二、砷烷（AsH3）
三、乙硼烷（B2H6）
第四节、其他电子特气
一、六氟丁二烯（C4F6）
二、羰基硫（COS）
三、三氟化硼（BF3）
四、硒化氢（SeH2）
第六章 2020-2022年中国电子特气行业下游应用领域分析
节、半导体行业
一、半导体行业发展综述
二、半导体材料国产化
三、电子特气制程介绍
四、电子特气应用情况
五、电子特气应用规模
六、电子特气应用需求
七、电子特气应用前景
第二节、LED行业
一、LED行业发展综述
二、电子特气应用情况
三、电子特气应用前景
第三节、LCD行业
一、LCD行业发展综述
二、电子特气制程介绍
三、电子特气应用现状
四、电子特气具体应用
五、电子特气应用前景
第四节、太阳能电池行业
一、太阳能电池发展概述
二、电子特气制程介绍
三、电子特气应用情况
四、电子特气应用前景
第七章 2020-2022年国外电子特气行业重点企业经营情况
节、美国空气化工产品
一、企业发展概况
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业经营状况
五、企业技术创新
第二节、林德集团
一、企业发展历程
二、企业业务介绍
三、企业经营状况
四、电子气体营收
五、企业技术创新
第三节、法国液空集团
一、企业发展历程
二、企业业务介绍
三、企业经营状况
四、电子特气营收
五、工业网路组织
六、企业发展战略
第四节、日本酸素公司
一、企业发展概况
二、企业经营状况
三、企业功能扩展
四、企业基础技术
五、企业布局动态
六、企业发展前景
第五节、日本昭和电工株式会社
一、企业发展概况
二、企业业务介绍
三、企业产品布局
四、企业经营状况
五、企业发展动态
第六节、其他企业
一、大阳日酸
二、关东电化
三、艾迪科
第八章 2019-2022年中国电子特气行业重点企业经营情况
节、广东华特气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、企业业务模式
六、企业业务布局
七、企业技术发展
八、企业项目布局
第二节、苏州金宏气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业工艺介绍
四、企业经营现状
五、特气营收情况
六、企业产能规模
七、企业产品布局
八、企业技术发展
九、企业在研项目
十、企业收购动态
第三节、江苏雅克科技股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、企业产品布局
五、电子特气营收
六、企业项目动态
第四节、江苏南大光电材料股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、特气布局分析
六、企业产品布局
七、企业研发投入
第五节、昊华化工科技集团股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业经营现状
四、特气营收情况
五、企业产能规模
六、企业产品布局
七、企业研发投入
八、企业项目动态
第六节、湖南凯美特气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业发展历程
三、企业竞争优势
四、企业经营现状
五、气体营收分布
六、电子特气销售
七、企业产品布局
八、企业研发投入
九、企业项目动态
第七节、湖北和远气体股份有限公司
一、企业发展概况
二、企业经营现状
三、电子特气营收
四、电子特气供应
五、企业研发投入
六、企业项目动态
第八节、其他企业
一、杭氧股份
二、巨化股份
三、正帆科技
四、派瑞特气
五、博纯材料
六、绿菱公司
七、硅烷科技
八、同辉气体
九、太和气体
第九章 2020-2022年中国电子特气行业投资分析
节、2020-2022年中国电子特气行业投融资状况
一、企业投资规模
二、行业融资现状
三、企业融资动态
四、企业战略合作
五、项目投资进展
第二节、中国电子特气行业投资进入壁垒
一、技术壁垒
二、客户壁垒
三、服务壁垒
四、资金壁垒
五、资质壁垒
第三节、中国电子特气行业投资风险及策略
一、行业投资风险
二、行业投资策略
三、项目投资方向
第十章 中国电子特气行业典型项目投资建设深度解析
节、宜章凯美特特种气体项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目投资概算
四、项目经济效益
五、项目备案情况
第二节、南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目建设周期
四、项目投资概算
五、产能消化空间
六、项目经济效益
七、项目备案进展
第三节、正帆科技气体扩产项目
一、项目基本情况
二、项目投资可行性
三、项目建设主体
四、项目建设周期
五、项目投资概算
六、项目环保措施
第四节、派瑞特气三氟化氮项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目投资概况
四、项目建设进度
五、项目经济效益
第五节、派瑞特气高纯电子气体项目
一、项目基本情况
二、项目投资价值
三、项目投资概算
四、项目建设进度
五、项目经济效益
第十一章 2023-2028年中国电子特气行业发展趋势及前景预测
节、中国电子特气行业未来发展趋势
一、行业发展机遇
二、行业发展趋势
三、国产替代趋势
第二节、2023-2028年中国电子特气行业预测分析
一、2023-2028年中国电子特气行业影响因素分析
图表目录
图表1 电子特种气体分类
图表2 不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求
图表3 三种分离方法比较
图表4 化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程
图表5 光刻工艺中电子气体的使用流程
图表6 刻蚀工艺中电子气体的使用流程
图表7 刻蚀机中辉光放电原理
图表8 离子注入工艺流程
图表9 离子注入机之磁分析器结构简图
图表10 离子注入机设备结构简图
图表11 电子气体纯度要求
图表12 气体纯化工艺流程图
图表13 气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）
图表14 空气分离工艺流程图资
图表15 气体充装工艺流程图
图表16 气体混配工艺流程图
图表17 气体检验工艺流程图
图表18 气瓶处理工艺流程图
图表19 2021、2025年全球电子气体市场规模
图表20 2020年全球电子特种气体行业市场竞争格局
图表21 全球工业气体企业
图表22 2021年全球四大气体公司营业收入
图表23 海外电子气体产业链
图表24 全球电子特气行业市场应用结构
图表25 海外电子特气厂商产品技术情况
图表26 工业气体的发展路径
图表27 林德集团的收购事件
图表28 空气化工的技术、产品和市场
图表29 2020年GDP终核实数与初步核算数对比
图表30 2021年GDP初步核算数据
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